alumina vacuum chuck
alumina vacuum chuck
alumina vacuum chuck
alumina vacuum chuck
alumina vacuum chuck

Microporeuze keramische vacuümklem Aluminiumoxide poreuze keramiek voor precisietoepassingen

De elektrostatische vacuümklauwplaat maakt gebruik van de Coulombische kracht die wordt gegenereerd tussen het werkstuk (het te bewerken object) en de elektrode met aangelegde spanning om het werkstuk veilig te adsorberen. De belangrijkste voordelen liggen in de uniforme verdeling van de adsorptiekracht over het oppervlak van de wafer, waardoor er geen kromtrekken of vervorming optreedt. De constante en stabiele adsorptiekracht garandeert de precisie van de waferverwerking en minimaliseert vervuiling en schade aan de wafer, waardoor deze geschikt is voor omgevingen met hoog vacuüm.

  • Merk:

    ATCERA
  • Artikelnr.:

    AT-YHL-XP001
  • Materialen

    Alumina
  • Vormen

    Plate
  • Toepassingen

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
alumina vacuum chuck

Eigenschappen van Aluminiumoxide vacuümhouder

1. Compatibel voor gebruik in zowel atmosferische als vacuümomgevingen.

2. Geschikt voor het adsorberen van geleiders, halfgeleiders, isolatoren en poreuze materialen.

3. Vereenvoudigd klem- en hanteringsmechanisme met laag energieverbruik voor elektrostatische adsorptie.

4. Gelijkmatige verdeling van de adsorptiekracht, waardoor plaatselijke spanning tijdens adsorptie wordt geëlimineerd.

5. Zachte ondersteuning voor dunne werkstukken met een groot oppervlak, waardoor krassen en kreuken tijdens adsorptie worden voorkomen.

6. Snelle activering en deactivering, zonder restpotentiaal aan de achterkant van het object, waardoor het aantrekken van omringend stof wordt voorkomen.

Ceramic Vacuum Chucks for Semiconductor Industry

Toepassingen van Microporeuze vacuümhouder van aluminiumoxide

Ideaal voor vacuümlaminering bij de productie van panelen, het verpakken van halfgeleiderchips, geïntegreerde schakelingen in de micro-elektronica, de productie van precisie-optische componenten en de productie van fotovoltaïsche zonne-energie.

Maattabel van Aluminiumoxide vacuümhouder

Wij doen er alles aan om een ​​optimale aluminiumoxide-vacuümklauwplaat te leveren die is afgestemd op uw exacte specificaties. Ons toegewijde team zorgt ervoor dat uw instructies nauwgezet worden opgevolgd en streeft ernaar de verwachtingen van de klant te overtreffen. Daarnaast bieden we de flexibiliteit van aangepaste formaten om aan uw unieke vereisten te voldoen.

Geef de specifieke toepassingsscenario's, afmetingen van de keramische kogels en de vereiste gebruiksparameters op als er maatwerk nodig is.

Specificatietoleranties:

1. Maatbereik: 05 mm-0800 mm

2. Microporiegrootte: 20-60um

3. Porositeit: 30-50%

4. Planaire nauwkeurigheid van de vacuümhouder: 6-8 inch <3um; 12 inch <5um

Aanpassingsvereisten:

1. Geef afmetingen, dikte en vorm op voor aanpassingen van 2, 3, 4, 5, 6, 8, 12 inch en niet-standaard.

2. Kies uit aluminiumlegering, roestvrij staal, keramiek, plastic en andere materialen voor de basis en het frame.

Aluminiumoxide microporeuze vacuümhouder vierkant
Artikelnr. Lengte (mm) Breedte (mm) Dikte (mm) Materiaal
AT-YHL-XP001 305 305 14 316 roestvrij staal + microporeus keramiek (bruin)
AT-YHL-XP002 305 305 14 316 roestvrij staal + microporeus keramiek (bruin)
AT-YHL-XP003 420 275 20 Aluminiumlegering + microporeus keramiek
AT-YHL-XP004 450 200 20 SKD61 + poreus keramiek
AT-YHL-XP005 520 520 20 Aluminiumlegering + microporeus keramiek

Aluminiumoxide microporeuze vacuümklem rond
Artikelnr. Diameter (mm) Dikte (mm) Materiaal
AT-YHL-XP006 174 10 316 roestvrij staal + microporeus keramiek
AT-YHL-XP007 220 35 Alleen keramiek van aluminiumoxide
AT-YHL-XP008 230 16 316 roestvrij staal + microporeus keramiek
AT-YHL-XP009 239 12 Aluminiumlegering + microporeus keramiek
AT-YHL-XP010 240 12 316 roestvrij staal + microporeus keramiek
AT-YHL-XP011 286 20 Alleen keramiek van aluminiumoxide
AT-YHL-XP012 320 16 316 roestvrij staal + microporeus keramiek
AT-YHL-XP013 325 12 Aluminiumlegering + microporeus keramiek

Technische gegevens van aluminiumoxidematerialen

Materiaal 99% aluminiumoxide (AL2O3)
Thermische geleidbaarheid 24,0w/m.k
Elektrische isolatie ≤22.5KV, temperatuurbestendigheid tot 1600â
Dichtheid 3,83 g/cm3
Thermische uitzettingscoëfficiënt 7*10-6
Buigsterkte (bij kamertemperatuur) 310 MPa
Druksterkte (bij kamertemperatuur) 2200 MPa
Hardheid (Hv) 1650
Breektaaiheid 4,2 MPa*m1/2

*Dit diagram illustreert de standaardkenmerken van de aluminiumoxidematerialen die gewoonlijk worden gebruikt bij de productie van onze aluminiumoxideproducten en -onderdelen. Houd er rekening mee dat de kenmerken van op maat gemaakte aluminiumoxideproducten en -onderdelen kunnen variëren, afhankelijk van de specifieke processen die daarbij betrokken zijn.

Gebruiksinstructies

1. Gebruik geen positieve druk bij het blazen. (Aanpassing beschikbaar voor vereisten voor luchtvering.)
2. Ga voorzichtig te werk en vermijd krassen op het keramische oppervlak of stoten met harde voorwerpen op het keramische oppervlak om vervorming, verlies van precisie of barsten te voorkomen.
3. Pas geen hitte toe, omdat thermische samentrekking van de basis van aluminiumlegering kan leiden tot keramische scheuren als gevolg van druk.
4. Houd het vrij van verontreinigingen zoals olie, lijm en verf. Gebruik in een stof- en olievrije omgeving om verstopping van microporiën te voorkomen.
5. Verwijder stof en vuil van het oppervlak met plakband zonder resten of met een hogedrukwaterstraal.

Waardevolle informatie

Alumina Vacuum Chuck Packing

Aluminiumoxide vacuümhouderverpakking

Aluminiumoxide vacuümklauwplaten worden zorgvuldig verpakt in geschikte containers om mogelijke schade te voorkomen.

Maatwerk voordelen
Maatwerk voordelen

1. Analyseer, afhankelijk van uw toepassingsscenario, de behoeften, kies het juiste materiaal en verwerkingsplan.

2. Professioneel team, snelle reactie, kan binnen 24 uur na bevestiging van de vraag oplossingen en offertes bieden.

3. Flexibel mechanisme voor zakelijke samenwerking, ondersteunt ten minste één stuk kwantiteitsaanpassing.

4. Lever snel monsters en testrapporten om te bevestigen dat het product aan uw behoeften voldoet.

5. Geef suggesties voor productgebruik en onderhoud om uw gebruikskosten te verlagen.

Gerelateerde blog
Chemisch-mechanisch polijsten van AlN-substraat: de belangrijkste manier om microscheurtjes en ondergrondse schade te overwinnen
Op het gebied van micro-elektronische verpakkingen wordt aluminiumnitride-keramiek geleidelijk het voorkeursmateriaal voor hoogwaardige chipskoelsubstraten vanwege hun uitstekende thermische geleidbaarheid, mechanische sterkte en elektrische eigenschappen. De hoge hardheid en hoge brosheid ervan kunnen tijdens de verwerking echter gemakkelijk microscheurtjes aan het oppervlak en beschadigingen ond...
Onderzoek naar de thermische geleidbaarheid van aluminiumnitridesubstraat en analyse van de invloed van zuurstofverontreiniging
Lange tijd hebben de meeste substraatmaterialen van hybride geïntegreerde schakelingen met hoog vermogen Al2O3- en BeO-keramiek gebruikt, maar de thermische geleidbaarheid van het Al2O3-substraat is laag en de thermische uitzettingscoëfficiënt komt niet goed overeen met die van Si. Hoewel de uitgebreide prestaties van BeO uitstekend zijn, beperken de hoge productiekosten en de zeer giftige tekortk...
Evolutie van keramische substraatmaterialen: doorbraken van aluminiumoxide tot aluminiumnitride en siliciumnitride
In de huidige snel veranderende elektronica-industrie, waarbij keramische substraatmaterialen een belangrijke basis vormen voor de ondersteuning van hoogwaardige elektronische apparaten, zijn de prestaties en kenmerken ervan rechtstreeks van invloed op de algehele prestaties en betrouwbaarheid van elektronische producten. Van het vroege aluminiumoxide-keramiek tot het latere aluminiumnitride, sili...
De toepasbaarheid van aluminiumnitridesubstraat als verpakkingsmateriaal voor het verbeteren van de warmteafvoer in elektrische apparaten
Met de snelle ontwikkeling van elektronische technologie worden de alomvattende prestaties van elektronische chips met de dag verbeterd, maar de totale omvang neemt af. Deze trend brengt aanzienlijke prestatieverbeteringen met zich mee, maar brengt ook een serieuze uitdaging met zich mee: een dramatische toename van de warmtestroom. Voor elektronische apparaten kan zelfs een kleine temperatuurstij...
Verbetering van de thermische geleidbaarheid van siliciumnitridesubstraat
Op het gebied van geavanceerde keramische materialen heeft siliciumnitride (Si3N4) veel aandacht getrokken vanwege zijn uitstekende mechanische sterkte, chemische stabiliteit en hoge temperatuureigenschappen. De thermische geleidbaarheid van siliciumnitride-keramiek is echter, als een van de sleutelfactoren die de brede toepassing ervan beïnvloeden, een belangrijk onderwerp in materiaalwetenschapp...
Onderzoek naar het roostertrillingsmechanisme en de sinterassistentstrategie van siliciumnitridesubstraten
In geavanceerde technologieën zoals hoogwaardige elektronische verpakkingen, ruimtevaart en energieconversie staan ​​siliciumnitride (Si3N4) substraat materialen hoog aangeschreven vanwege hun uitstekende mechanische eigenschappen, chemische stabiliteit en hoge temperatuurbestendigheid. De thermische geleidbaarheid van siliciumnitride, als een van de belangrijkste factoren die de brede toepassing ...
Optimalisatie van de thermische geleidbaarheid van siliciumnitridesubstraat
Bij het onderzoeken van siliciumnitride (Si3N4) substraat materialen als kern van een hoogwaardige oplossing voor thermisch beheer, is ons begrip van hun warmteoverdrachtsmechanismen van cruciaal belang. Het is bekend dat het belangrijkste warmteoverdrachtsmechanisme van siliciumnitride berust op roostervibratie, een proces dat warmte overdraagt ​​via gekwantiseerde hete ladingsdragers die fononen...
Toepassingspotentieel van siliciumnitridesubstraat in het warmtedissipatieveld van halfgeleiderapparaten
Nadat we het intelligente informatietijdperk zijn binnengegaan, hebben halfgeleiderapparaten ons leven snel in beslag genomen. Omdat de door het werkstuk gegenereerde warmte een sleutelfactor is die het falen van halfgeleiderapparaten veroorzaakt, is het, om veel problemen veroorzaakt door defecten aan het apparaat te voorkomen en de effectieve en veilige werking ervan op lange termijn te garander...
Optimaliseer sinteradditieven om de prestaties van AlN-substraat te verbeteren
In praktische toepassingen moeten aluminiumnitridesubstraten, naast een hoge thermische geleidbaarheid en hoge elektrische isolatie-eigenschappen, op veel gebieden ook een hoge buigsterkte hebben. Momenteel is de driepuntsbuigsterkte van aluminiumnitride dat op de markt in omloop is gewoonlijk 400 ~ 500 MPa, wat de promotie en toepassing van keramische substraten van aluminiumnitride ernstig beper...
Fabricagetechnologie van dikke-filmweerstanden op AlN-substraat
Met de voortdurende vooruitgang van de micro-elektronische verpakkingstechnologie zijn de kracht en de integratie van elektronische componenten aanzienlijk toegenomen, wat heeft geleid tot een aanzienlijke toename van de warmteopwekking per volume-eenheid, waardoor strengere eisen zijn gesteld aan de efficiëntie van de warmteafvoer (dat wil zeggen , de warmtegeleidingsprestaties) van de nieuwe gen...

Gerelateerde producten

Veelgestelde vragen

Hoewel onze primaire focus ligt op geavanceerde keramische materialen zoals aluminiumoxide, zirkoniumoxide, siliciumcarbide, siliciumnitride, aluminiumnitride en kwartskeramiek, onderzoeken we altijd nieuwe materialen en technologieën. Als u een specifieke materiaalbehoefte heeft, neem dan contact met ons op. Wij zullen ons best doen om aan uw behoeften te voldoen of geschikte partners te vinden.

Absoluut. Ons technisch team beschikt over diepgaande kennis van keramische materialen en uitgebreide ervaring in productontwerp. Wij geven u graag materiaalkeuzeadvies en productontwerpondersteuning om optimale prestaties van uw producten te garanderen.

Wij hanteren geen vaste minimale bestelwaarde. We richten ons altijd op het voldoen aan de behoeften van onze klanten en streven ernaar om hoogwaardige service en producten te leveren, ongeacht de ordergrootte.

Naast keramische producten bieden wij ook een reeks aanvullende diensten aan, waaronder maar niet beperkt tot: op maat gemaakte keramische verwerkingsdiensten op basis van uw behoeften, waarbij gebruik wordt gemaakt van door u zelf geproduceerde plano's of halfafgewerkte plano's; Als u geïnteresseerd bent in uitbestede keramische verpakkings- en metallisatiediensten, neem dan contact met ons op voor verdere discussie. We streven er altijd naar om u een totaaloplossing te bieden die aan uw verschillende behoeften voldoet.

Ja, dat doen we. Waar ter wereld u zich ook bevindt, wij kunnen de veilige en tijdige levering van uw bestelling garanderen.

Stuur uw aanvraag

Uploaden
* File ONLY PDF/JPG./PNG. Available.
Submit Now

Neem contact met ons op

Neem contact met ons op
Vul dan onderstaand formulier zo goed mogelijk in. En maak je geen zorgen over de details.
Indienen
Looking for Video?
Neem contact met ons op #
19311583352

Kantooruren

  • Maandag tot en met vrijdag: 9:00 - 12:00 uur, 14:00 - 17:30 uur

Houd er rekening mee dat onze kantooruren gebaseerd zijn op Beijing Time, wat acht uur voorloopt op Greenwich Mean Time (GMT). Wij stellen uw begrip en medewerking bij het dienovereenkomstig plannen van uw vragen en vergaderingen op prijs. Voor dringende zaken of vragen buiten onze reguliere openingstijden kunt u contact met ons opnemen via e-mail. Wij nemen dan zo snel mogelijk contact met u op. Bedankt voor uw zaken en we kijken ernaar uit u van dienst te zijn.

Thuis

Producten

whatsApp

contact