1. Keramisch substraat
Aluminiumoxide, siliciumnitride, aluminiumnitride en siliciumcarbide keramiek hebben een goede thermische geleidbaarheid, hoge temperatuur- en corrosieweerstand. Ze kunnen worden gebruikt om substraten te produceren, voor elektronische componenten en geïntegreerde schakelingen;
2. Keramische wafelbak
Alumina- en siliciumcarbide-keramiek heeft een hoge temperatuurbestendigheid en slijtvastheid. Ze kunnen worden gebruikt voor de productie van tray voor het vervoeren van wafels voor verschillende processen, zoals RTA (Rapid Thermal Annealing), PVD (Fysieke damp Depositie), ICP (Inductief gekoppeld plasma), CMP (chemisch mechanisch polijsten), voor een goed verwerkingseffect en hoge efficiëntie;
3. Keramische vacuümhouder
Aluminiumoxide en siliciumcarbide keramiek hebben een goed afwerkingsoppervlak, met een sterke absorptiekracht wanneer er lucht wordt gepompt, ook keramische vacuümklauwplaat heeft een hoge temperatuurbestendigheid en wordt veel gebruikt om wafers te absorberen en over te dragen tijdens het productieproces ;
4. Waferboot en bootbeugel
Siliciumcarbide en kwarts hebben een hoge temperatuurbestendigheid en goede slijtvastheid, ook de dichtheid is laag en het gewicht is licht, ze zijn geschikt voor de productie van waferboot en bootbeugel, om wafer voor te dragen diffusie- en oxidatiebehandeling in een diffusieoven.
5. Diffusieovenbuis
Kwartbuis heeft een hoge temperatuurbestendigheid en uitstekende thermische stabiliteit. Het kan worden gebruikt als diffusieovenbuis, voor het diffusie- en oxidatieproces van halfgeleiderwafelwafels.