1. Keramisch substraat

Siliciumcarbide heeft een grote energiekloof, hoge thermische stabiliteit en goede thermische geleidbaarheid. Het kan worden gebruikt om substraat voor fotovoltaïsche cellen te produceren.

2. Keramische wafelbak

Alumina- en siliciumcarbide-keramiek heeft een hoge temperatuurbestendigheid en slijtvastheid. Ze kunnen worden gebruikt voor de productie van tray voor het vervoeren van wafels voor verschillende processen, zoals RTA (Rapid Thermal Annealing), PVD (Fysieke damp Depositie), ICP (Inductief gekoppeld plasma), CMP (chemisch mechanisch polijsten), voor een goed verwerkingseffect en hoge efficiëntie;

3. Keramische vacuümhouder

Aluminiumoxide en siliciumcarbide keramiek hebben een goed afgewerkt oppervlak, met een sterke absorptiekracht wanneer er lucht wordt gepompt, ook keramische vacuümklauwplaat heeft een hoge temperatuurbestendigheid en wordt veel gebruikt om wafers te absorberen en over te dragen tijdens het productieproces ;

4. Waferboot en bootbeugel

Siliciumcarbide en kwarts hebben een hoge temperatuurbestendigheid en goede slijtvastheid, ook de dichtheid is laag en het gewicht is licht, ze zijn geschikt om te produceren waferboot en bootbeugel, om wafer te vervoeren voor diffusie- en oxidatiebehandeling in een diffusieoven.

5. Diffusieovenbuis

Kwartbuis heeft een hoge temperatuurbestendigheid en uitstekende thermische stabiliteit. Het kan worden gebruikt als diffusieovenbuis, voor het diffusie- en oxidatieproces van siliciumwafels uit zonnecellen.