Met de snelle ontwikkeling van moderne microgolfcommunicatietechnologie is het ontwerp van microgolfcircuitcomponenten met hoge prestaties en hoge precisie steeds belangrijker geworden. Bij microgolfradiofrequentie (RF)-modules is dunnefilmcircuittechnologie een belangrijke ontwerpmethode geworden met zijn unieke voordelen. In dit artikel worden verschillende dunnefilmcircuitcomponenten op basis van aluminiumoxidesubstraat in detail geïntroduceerd, waaronder het dunnefilmmicrostripcircuit, het dunnefilmfilter, de dunnefilmbelasting, de dunnefilmequalizer en de dunnefilmvermogensverdeler. Deze componenten spelen een onvervangbare rol in microgolfcircuits, en hun ontwerpnauwkeurigheid en prestaties hebben rechtstreeks invloed op de prestaties van het hele microgolfsysteem.
Toepassingen van aluminiumoxidesubstraat in circuit
1 Dunne-film microstripcircuit
Keramisch substraat van aluminiumoxide wordt gebruikt om microstripcircuits met dunne film te ontwerpen, de dikte van de goudlaag kan maximaal 3,5 µm zijn en de metaaldraadverbinding kan worden gebruikt om verbinding te maken met het externe circuit. De gebruikelijke plaatdikte is 0,127 mm, 0,254 mm, 0,381 mm, 0,508 mm en de transmissiefrequentie kan meer dan 40 GHz bereiken. Het voldoet aan de frequentiebandvereisten van de meeste RF-microgolfmodulemodules, en de nauwkeurigheid van de dunne-filmcircuitlijn van het dunne-filmproces is ± 5um. Het microgolf-RF-veld maakt vaak gebruik van keramische substraten voor microstrip-transmissielijnen of circuitontwerp met hoge precisie.
2 Dunnefilmfilter
De frequentie van het dunnefilmfilter gemaakt van keramisch aluminiumoxidesubstraat kan oplopen tot 40 GHz, wat vaak wordt gebruikt als een functionele eenheid voor frequentieselectie in verschillende microgolfmodulemodules en -systemen. Dunne-filmfilters worden verwerkt met behulp van dunne-filmtechnologie, door middel van sputteren, lithografie, nat of droog etsen, reinigen, snijden om dunne-filmfiltersubstraten te verkrijgen, type gemeenschappelijk intervingertype, haarspeldtype, kamtype, parallel koppelingstype, C-type en andere structurele filters kunnen worden ontworpen op basis van keramische substraatverwerking van aluminiumoxide, kunnen worden ontworpen met een lage doorlaat, hoge doorlaatbanddoorlaatbandweerstand en andere verschillende soorten filters. Omdat de diëlektrische constante van de keramische plaat van aluminiumoxide groter is dan die van het algemene PCB-substraat, is het volume van het filmfilter gemaakt door de keramische plaat van aluminiumoxide kleiner dan dat van het algemene microstripfilter, en zijn de elektrische parameters van het filmfilter gemaakt door de keramische plaat van aluminiumoxide zijn goed. Het wordt meestal bevestigd met geleidende lijm of goud-tin-eutectiek.
3 Filmlading
Het keramische substraat van aluminiumoxide wordt gebruikt om de dunne-filmbelasting te ontwerpen, die vaak wordt gebruikt om de aansluiting van de moduleconstructie van het microgolfcircuit aan te passen om het overtollige gereflecteerde vermogen te absorberen. Voor de belasting is de bewerkingsnauwkeurigheid van de weerstandswaarde erg belangrijk, en hoe groter de afwijking, hoe slechter de uiteindelijke belastingsprestaties. Vanwege de regelbare vierkante weerstand van de tantaalnitridefilmlaag in het filmproces kan de filmlading met hoge precisie worden geproduceerd en is het filmlaadvolume zeer klein, wat een goede keuze is voor de miniaturisatie van componentmodules. Het wordt meestal aan het uiteinde van het circuit bevestigd met behulp van geleidende lijm of goud-tin-eutektisch materiaal.
4 Filmequalizer
De dunnefilm-equalizer is ontworpen met een keramisch substraat van aluminiumoxide, dat vaak wordt gebruikt om de vlakheid van het breedbandvermogen van microgolfcircuits aan te passen. De uitgangsgolfvorm van het apparaat wordt aangepast door de vierkante weerstand van de geïntegreerde tantaalnitridefilmlaag en de verschillende weerstandswaarden van het grafische ontwerp te veranderen, om het vermogenssignaal aan de voorkant in evenwicht te brengen om het aanpassingseffect van de vlakheid van het vermogen te bereiken. 33
5 Filmstroomverdeler
De dunne-film stroomverdeler ontworpen met een keramisch aluminiumoxide-substraat wordt vaak gebruikt in het meerkanaals communicatienetwerksysteem. Het heeft de functie van stroomverdeling volgens een bepaalde verhouding, met één ingang en meerdere uitgangen. Omdat de isolatieweerstand kan worden geïntegreerd in het dunnefilmcircuit met behulp van de tantaalnitridefilmlaag om een geschikte weerstandswaarde te ontwerpen, kan dit de verslechtering van de circuitprestaties als gevolg van het lassen van de patchweerstand van de microstrip-stroomverdeler en de instabiliteit voorkomen. van de weerstandswaarde van de patchweerstand, en de dunne film-vermogensverdeler is gemakkelijker om het meertraps ultrabreedbandontwerp te bereiken, en het ontworpen object is klein van formaat, gemakkelijk te integreren en goed in prestaties.
Samenvattend speelt een keramisch substraat van aluminiumoxide een cruciale rol bij het ontwerp van dunnefilmcircuitcomponenten. Van dunne-film microstripcircuit tot dunne-film stroomverdeler, deze componenten voldoen niet alleen aan de eisen van hoge precisie en hoge frequentie van microgolf-RF-modules, maar realiseren ook de miniaturisatie en hoge prestaties van de componenten. Door de nauwkeurige controle van dunnefilmtechnologie kunnen we dunnefilmcircuitcomponenten verkrijgen met uitstekende elektrische parameters, waardoor de algehele prestaties van microgolfsystemen verder worden verbeterd. In de toekomst, met de voortdurende vooruitgang van de microgolfcommunicatietechnologie, zullen dunne-filmcircuitcomponenten op basis van aluminiumoxide-keramische substraten een grotere rol blijven spelen in het microgolfveld, en bijdragen aan de ontwikkeling van draadloze communicatie, radardetectie en andere velden.
